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為提高鍋爐的燃燒效率，現(xiàn)實(shí)生產(chǎn)中都采用低氧燃燒的方式，煙氣尾氣中的含氧量能夠直接反應(yīng)燃燒狀態(tài)，所以煙氣在線(xiàn)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)監(jiān)測(cè)煙氣時(shí)也需要檢測(cè)煙氣中的氧含量。

煙氣含氧量在線(xiàn)監(jiān)測(cè)技術(shù)主要有氧化鋯分析器（插入式及抽取式）、順磁式氧分析器及燃料電池式氧分析器等，激光光譜法也可以用于特殊情況下的氧含量測(cè)試，如用于石油化工FCC的煙氣氧含量的測(cè)量。

燃煤鍋爐煙氣在線(xiàn)監(jiān)測(cè)在650℃，大多采用插入式氧化鋯分析器直接測(cè)量。如果在鍋爐燃燒的高溫段（750℃以上）監(jiān)測(cè)氧含量，則需要采用高溫型氧化鋯氧分析儀，或采用抽吸式氧化鋯氧分析儀，通過(guò)取樣探頭將高溫?zé)煔獬槿〕龊筮M(jìn)行測(cè)量；也可采用燃料電池式或順磁式氧分析器分析氧含量，抽取式CEMS中，對(duì)煙氣含量監(jiān)測(cè)通常采用直插式氧化鋯氧分析器測(cè)量氧，也可以在多組分分析器中增加電化學(xué)測(cè)氧模塊測(cè)量氧。