煙氣在線監(jiān)測系統(tǒng)的分析系統(tǒng)在檢測標定時一般分為系統(tǒng)內(nèi)標及外標。內(nèi)標主要測定分析儀器的測量誤差，外標要求從取樣探頭處通入標氣進行系統(tǒng)標定；也可采用規(guī)定參比方法標準進行在線比對檢測。

系統(tǒng)內(nèi)標是從分析儀的進氣口注入標準氣體并記錄儀器的響應(yīng)。通過內(nèi)標檢測評價分析儀的穩(wěn)定性、儀器的零點和上標校準點漂移的程度。

系統(tǒng)外標是盡可能從靠近采樣系統(tǒng)探頭頂端的位置注入標準氣體。系統(tǒng)外標既能夠表明樣品調(diào)節(jié)系統(tǒng)的效率和輸送到分析儀的分析物的情況，又能都檢查儀器性能。

如果以上兩種方法測量相同濃度的同種分析物，結(jié)果之間存在著較大的差異，則表明整個煙氣在線監(jiān)測系統(tǒng)可能存在泄露或由于分析物發(fā)生化學反應(yīng)或物理變化造成了損失。如果是非標準污染物，最常見的是由于吸附和冷凝造成的損失。系統(tǒng)外標也可以確定過濾器是否吸附分析物。吸附或冷凝化合物的揮發(fā)能夠引起正的測量誤差。

有的煙氣在線監(jiān)測系統(tǒng)由儀器的響應(yīng)與其他方法比對獲得相關(guān)系數(shù)。在比對前首先設(shè)置和檢測內(nèi)部的儀器參數(shù)，確定儀器函數(shù)，并進行初始的校準。然后與參比方法比較，建立儀器響應(yīng)與參比方法測定濃度的相互關(guān)系。

對需要用參考光譜進行校準的煙氣在線監(jiān)測系統(tǒng)也需要定期地檢查校準狀況，才能保證獲得的參考光譜(光譜庫中的光譜)與采樣并分析樣品時獲得的光譜之間正確的校準傳遞。