1.不受背景氣體的影響：

半導(dǎo)體激光吸收光譜技術(shù)中使用的半導(dǎo)體二極管激光器的光譜寬度小于0.01nm，是非分光型紅外氣體分析儀的紅外光源譜寬的1/106，遠遠小于被測氣體的吸收譜線的譜寬。在單線吸收光譜圖中，選擇合適的譜線，可以對相應(yīng)的一種氣體進行檢測，而不對其他氣體產(chǎn)生干擾。

2.不受粉塵與視窗污染的影響：

對諧波法測量，氣體的濃度由透射光強的二次諧波信號與直流信號的比值決定。當激光傳輸光路中的粉塵或視窗污染產(chǎn)生光強衰減時，兩信號會同時衰減，從而保證比值不變，所以理論上講，過程氣體中的粉塵和視窗污染對儀器的測量結(jié)果沒有影響。但要注意的是，當粉塵、視窗污染很大，或激光光源強度下降到10%左右時，儀器將不能工作。

3.自動修正溫度、壓力對測量的影響：

通常工業(yè)過程中被監(jiān)測的煙氣可能存在幾百攝氏度和幾個大氣壓的變化，這都會影響二次諧波信號波形的幅值與形狀，進而影響測量精度，但加入溫度和壓力補償算法，就可自動糾正測量精度 。